滾珠絲杠副
特點是剛度大，可實現(xiàn)的增量位移為100nm（即0.1μm）。

摩擦傳動
傳動剛度為50N~100N/μm，拉力達(dá)100N，可實現(xiàn)的移動增量為5nm。缺點是壽命低，不夠靈敏。

條（帶）傳動
僅適合在小型機床上用。

壓電和磁致伸縮傳動
移動量可小于5nm，但總的行程量很小，只有100~200μm，故多數(shù)情況下它是與其它傳動方式（如滾珠絲杠副）組合使用。

自定位靜壓絲杠副
特點是由于齒形角小（只有10°），故剛度大（達(dá)100N~1000N/μm）和可實現(xiàn)微小的增量位移。缺點是保證油溫和油壓穩(wěn)定的系統(tǒng)較復(fù)雜。

增量式液壓傳動
剛度可達(dá)600N/μm，位移增量80nm，但供油系統(tǒng)復(fù)雜。

電磁絲杠副傳動
它是由涂有稀有材料的磁性混合物的絲杠與帶有線圈的螺母相互作用來實現(xiàn)傳動。可實現(xiàn)微小的增量位移，但剛度過低，只有10N/μm。